Rastrovací elektronový mikroskop UHV SLEEM s nanometrovým rozlišením – nástroj pro analýzu povrchů nanomateriálů a nanostruktur v UHV

Ultravysokovakuový mikroskop SLEEM je zcela unikátní zařízení, které bylo vyvinuto a zkonstruováno na našem ústavu. Mikroskop je jedinečně přizpůsoben pro pozorování čistých povrchů vzorků. V přípravné komoře je možno vzorek očistit iontovým svazkem a poté jej vyhřát na teplotu max. 1300 K. V neposlední řadě umožňuje mikroskop pozorovat vzorky pro skenovací transmisní elektronovou mikroskopii a nevodivé vzorky. Díky implementaci katodové čočky lze využít pozorovací režim rozšířit o režim velmi pomalých elektronů.

Hlavní přednosti:

• Rozlišení v řádech jednotek nm, rozsah primárních napětí  1 kV – 6 kV
• Katodová čočka umožňuje snížit dopadovou energii elektronů až na jednotky eV
• Dosažení atomové čistoty povrchu vzorků pomocí iontového děla (Ar ionty) a vyhřívání vzorků
• Zobrazuje zároveň prošlé (STEM detektor) i odražené elektrony (SE, BSE detektory)
• Mikroskop je osazen Augerovým a hmotnostním spektrometrem

Fotografie mikroskopu